成都10000级无尘室

    21世界，产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。无尘室对我们有什么用？成都10000级无尘室

    影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少比较低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 中山百级无尘室安装无尘室（亦称洁净室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。

无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。也就是这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净室被普遍地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。

若想检验无尘室是否达到应用标准，大家可以先从遮蔽率;风速、温湿度;压差、构成要求这四个方面考虑。其中风速、温湿度的气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)，一般温度控制范围:T=(21±2)℃，一般湿度控制范围:(45±5)%RH；压差是在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的较小压力差是可以接受的。无尘室的构成要求是不会因温度变化与振动而发生裂痕，也不易产生微尘粒子，且很难附着粒子，而且吸湿性小，但是为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。

无尘室在设计与装修时与业主双方要协商好。

有关推荐或参考值的应用无尘室内一定洁净度下气流速度的确定，随无尘室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业无尘室工程而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：(1)无尘室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；(2)无尘室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；(3)自净时间（恢复时间）的控制要求：无尘室中事故释放或带入污染物。

无尘室日常管理需要注意的问题；郴州十万级无尘室施工

空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。成都10000级无尘室

    由于生产的产品各不相同，其原料在物理性和化学性方面的差别也很大，对环境和人的身体产生不同程度的伤害。我们要处理的多数是化学性方面的性质，如有毒原料，挥发性、刺激性、腐蚀性气体原料等。这就要求生产车间的通风工程根据实际情况有着科学的设计。洁净区的风速、尘埃粒子数、菌落数根据空调系统操作规程，定时监测。温湿度通过温湿度传感器对不符合要求的温湿度进行室外监控记录，达到及时调节的目的。以制药厂的三苯精烘包结晶间为例，风量的压强差经过风量的调节使其平衡基本保持恒定，因为这里和工艺走廊相比要求维持一个相对负压，当各级过滤器出现阻挡和栓塞的情况时，可以适当调节送风量变频，改变送风机的频率，增大压头，克服过滤器的栓塞的情况时，可以适当调节送风量变频，改变送风机的频率，增大压头，克服过滤器的栓塞阻力，保证房间的送风量，保证结晶间的压差，从而达到净化的目的。 成都10000级无尘室

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